檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "表面形貌".ckeyword (精準) and cadvisor.raw="謝宏麟"
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本研究提出一套新式的「頻差疊紋式表面形貌量測技術」,用以偵測置放於高迴轉速(1500rpm)平台上的藍寶石晶圓表面形貌。此套量測技術以疊紋理論為設計概念,結合雷射準直儀、掃描輪廓法及亞條紋分析法等技…
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本研究提出一套「高解析度陰影疊紋式量測系統」,此套系統是由LED光源模組、大面積小週期的線性光柵、影像擷取模組及軟體相位解調模組所組成,其系統架構簡單、組裝及調校容易,具低成本的開發優勢。此套量測系…